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碳化硅激光退火設備
本設備用于碳化硅的歐姆退火工藝删另,具備裸片自動(dòng)上下料、晶圓自動(dòng)校準等功能。 加工工藝效果優(yōu)異;加工效率高;設備運行無(wú)需耗材,加工成本較低。
■ 設備優(yōu)勢
◆ 激光器自制,自主可控
◆ 工藝窗口較廣,可兼容其他材料的退火要求
◆ 符合SEMI行業(yè)標準
■ 應用領(lǐng)域
應用于碳化硅晶圓片的背金激光退火(以碳化硅材料為基板的晶圓)。
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