11月9日匹憎，2022激光行業(yè)榮格技術(shù)創(chuàng )新獎頒獎典禮在上海隆重舉行。德龍激光Mini/Micro LED激光蝕刻設備荡减、砷化鎵晶圓激光切割設備榮獲2022激光加工行業(yè)榮格技術(shù)創(chuàng )新獎！與此同時(shí)，德龍激光子公司貝林激光也憑借100W皮秒紅外激光器（Amber NX IR-100S）榮獲此項殊榮！德龍激光及子公司貝林激光將持續堅持創(chuàng )新驅動(dòng)力，為行業(yè)提供更加高效忆畅、穩定的行業(yè)解決方案。

頒獎典禮現場(chǎng)

 Mini/Micro LED激光刻蝕設備

▲設備型號：LPE系列

■ 研發(fā)背景

超過(guò)100寸的Mini LED電視墻產(chǎn)品周狱，以其優(yōu)秀的視覺(jué)感染力措哎，迅速博得了顯示制造領(lǐng)域的高度關(guān)注。面板制造龍頭們快速布局以玻璃基為載體的Mini LED直顯產(chǎn)品的研發(fā)。德龍激光作為激光精細微加工設備制造商颜价，積極的布局Mini LED制程中用到的激光加工設備，推出了Mini/Micro LED激光蝕刻設備，切實(shí)滿(mǎn)足了客戶(hù)新制程的需求，為國內Mini LED直顯產(chǎn)品研發(fā)做出了積極的貢獻曲聂。

■ 設備優(yōu)勢

自主研發(fā)飛秒激光蝕刻工藝，實(shí)現了Mini/Micro LED產(chǎn)品玻璃三面線(xiàn)路蝕刻后拼接超高精度陪苟，同時(shí)該設備具備自動(dòng)AOI檢測功能，提高了產(chǎn)品生產(chǎn)良率。該產(chǎn)品推出后，迅速得到了國內大廠(chǎng)客戶(hù)的認可，加快了Mini/Micro LED大尺寸直顯產(chǎn)品快速產(chǎn)業(yè)化步伐碍脏。

■ 應用領(lǐng)域

主要應用于Mini/Micro LED直顯領(lǐng)域

砷化鎵晶圓激光切割設備 

▲設備型號:Inducer-5361

■ 研發(fā)背景

砷化鎵作為一種重要的半導體材料挨务，可以用來(lái)制作集成電路襯底赠飞、紅外探測器等。用砷化鎵制成的半導體器件具有高頻、高溫、低溫性能好、噪聲小、抗輻射能力強等優(yōu)點(diǎn)。德龍激光積極布局相關(guān)領(lǐng)域，推出激光應力誘導切割方案成功，實(shí)現高效高品質(zhì)切割。

■ 設備優(yōu)勢

本設備利用超短脈沖激光實(shí)現砷化鎵晶圓高質(zhì)量，高效率的切割加工

切割速度快曲饱，切割效果好，良率高，無(wú)需濕法清洗處理提供整套的裂片和擴片設備，完整的解決方案工藝成熟，可針對不同類(lèi)型的砷化鎵圓進(jìn)行切割

■ 應用領(lǐng)域

各類(lèi)微波射頻功率放大器等砷化鎵晶圓的切割各類(lèi)光電類(lèi)砷化鎵晶圓的切割

■ 設備參數

    加工對象：砷化鎵晶圓激光

    種類(lèi)：脈沖式激光器

    切割線(xiàn)寬：＜3μm

    崩邊效果：＜10μm

    切割厚度：80μm-500μm

    切割速度：800mm/s

    加工尺寸：6寸（可升級至8寸）

100W皮秒紅外激光器（Amber NX IR-100S）

■ 研發(fā)背景

目前高功率皮秒紅外激光器，已經(jīng)在玻璃、陶瓷短搀、藍寶石等硬脆材料切割鉆孔領(lǐng)域取得了廣泛的應用瑟毡，其中用于玻璃切割的皮秒激光器使用量越來(lái)越多，滿(mǎn)足從<1mm到>10mm厚度玻璃加工。對于厚玻璃的切割（>5mm），采用激光加工可以克服傳統的刀輪切割方法存在切割效率低，成本高恰锚，無(wú)法實(shí)現異形切割等問(wèn)題，但是厚玻璃切割對于激光器參數提出了更高的要求，為了滿(mǎn)足加工效率的提升和加工玻璃厚度的增加，需要使用更高平均功率的激光器，同時(shí)具備mJ級高脈沖能量輸出。貝林激光開(kāi)發(fā)100W紅外皮秒激光器，實(shí)現2mJ脈沖能量輸出甫兢。

■ 產(chǎn)品特點(diǎn)

貝林激光100W皮秒紅外激光器采用皮秒光纖種子源配合自由空間固體放大器實(shí)現高功率皮秒激光輸出。激光器集成高性能光纖種子源，性能穩定，輸出參數靈活摄烫，使用壽命>40000小時(shí)。采用固體多級放大器技術(shù)，保證高峰值功率激光輸出，實(shí)現紅外平均功率大于100W，激光器脈沖能量>2mJ拓售，輸出脈沖寬度<10ps，光束質(zhì)量M^2<1.3。激光器采用一體機設計方案状勤，體積緊湊，全新升級的控制系統乔怀，運行更加穩定兼具多種控制功能

榮格技術(shù)創(chuàng )新獎自2006年成功舉辦以來(lái)，以其公正倘潜、客觀(guān)的評選流程倍受業(yè)界廣泛關(guān)注，是中國最具國際性和專(zhuān)業(yè)性的工業(yè)行業(yè)技術(shù)創(chuàng )新獎，旨在表彰在業(yè)界具有突出貢獻的創(chuàng )新產(chǎn)品和技術(shù)。

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