Micro LED激光巨量轉移設備
該設備不僅可以保證激光巨量轉移過(guò)程中不對芯片造成損傷梆内,而且還保證Micro-LED轉移落點(diǎn)精準并可按照需求設置轉移后Micro LED芯片陣列排布,并可以結合AOI&PL機臺mapping圖损翻,高速準確選擇性轉移ok片。
■ 設備參數
◆ X軸:行程400mm,解析度0.1μm
◆ Y軸:行程400mm,解析度0.1μm
◆ Z軸:行程20mm,解析度0.1μm
◆ θ軸:行程120°,解析度0.0001°
◆ 轉移作用材質(zhì):Micro-LED器件-特定基板
◆ 加工產(chǎn)品尺寸:根據客戶(hù)要求定制
■ 設備優(yōu)勢
◆ 良率高
◆ 效率高
◆ 全自動(dòng)三色上下料
■ 應用領(lǐng)域
應用于新型顯示行業(yè)的激光巨量轉移纷舌,通過(guò)直轉/二次轉移等方式將三色芯片轉移到基板上入斑。
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